Чип җитештерү тармагында чип җитештерү күләме чипка салынган һава кисәкчәләренең күләме һәм саны белән тыгыз бәйләнгән.Яхшы һава агымын оештыру тузан чыганакларыннан барлыкка килгән кисәкчәләрне чиста бүлмәдән алып, чисталык бүлмәсенең чисталыгын тәэмин итә ала.Ягъни, чиста бүлмәдәге һава агымын оештыру чип җитештерү уңышында мөһим роль уйный.Чиста бүлмә һава агымын оештыру проектында ирешергә тиешле максатлар: зарарлы кисәкчәләрне саклап калу өчен агым кырындагы агымнарны киметү яки бетерү;crossзара пычрануны булдырмас өчен тиешле уңай басым градиентын сакларга.
Чиста бүлмә принцибы буенча, кисәкчәләр өстендә эшләүче көчләргә масса көче, молекуляр көч, кисәкчәләр арасындагы тарту, һава агымы һ.б. керә.
Airава агымы көче: тәэмин итү һәм кире һава агымы, җылылык конвекция һава агымы, ясалма агитация һәм кисәкчәләр йөртү өчен билгеле бер агым тизлеге белән барлыкка килгән һава агымының көчен аңлата.Чиста бүлмә экологик технологияләрне контрольдә тоту өчен иң мөһим фактор.
Тикшеренүләр күрсәткәнчә, һава агымы хәрәкәтендә кисәкчәләр бер үк тизлектә диярлек һава агымына иярәләр.Airавадагы кисәкчәләрнең торышы һава агымы белән билгеләнә.Airава агымының ябык кисәкчәләргә төп йогынтысы: һава белән тәэмин итү һава агымы (беренчел һава агымы һәм икенчел һава агымы кертеп), йөргән кешеләр аркасында килеп чыккан һава агымы һәм җылылык конвекция һава агымы, һәм процесс операцияләре һәм сәнәгать җиһазлары аркасында килеп чыккан кисәкчәләргә һава агымының йогынтысы.Чиста бүлмәләрдә һава белән тәэмин итүнең төрле ысуллары, тизлек интерфейслары, операторлар һәм сәнәгать җиһазлары, индустриаль күренешләр һ.б. - чисталык дәрәҗәсенә йогынты ясаучы факторлар.
1. airава белән тәэмин итү ысулының йогынтысы
(1) Airава белән тәэмин итү тизлеге
Бердәм һава агымын тәэмин итү өчен, бер юнәлешле агым чиста бүлмәдә һава белән тәэмин итү тизлеге бертөрле булырга тиеш;һава белән тәэмин итү өслегендәге үлгән зона кечкенә булырга тиеш;һәм гепа фильтрындагы басым төшүе дә бертөрле булырга тиеш.
Airава белән тәэмин итү тизлеге бертөрле: ягъни һава агымының тигезсезлеге ± 20% эчендә контрольдә тотыла.
Airава белән тәэмин итү өслегендә үле урын аз: гепа рамкасының яссы мәйданы кыскартылырга тиеш түгел, ә иң мөһиме, артык кирәк булмаган рамны гадиләштерү өчен модульле FFU кулланылырга тиеш.
Airава агымының вертикаль һәм бер юнәлешле булуын тәэмин итү өчен, фильтрның басым төшүен сайлау да бик мөһим, һәм фильтр эчендәге басым югалуы икеләтә булмаска тиеш.
(2) FFU системасы белән аксыл агым фанаты системасы арасында чагыштыру
FFU - җылыткыч һәм гепа фильтрлы һава тәэмин итү берәмлеге.Airава FFUның центрифугааль җанатары белән сорала һәм динамик басымны һава каналындагы статик басымга әйләндерә.Ул гепа фильтры белән тигез шартлый.Түбәдәге һава белән тәэмин итү басымы тискәре басым.Шулай итеп фильтрны алыштырганда чиста бүлмәгә тузан кермәячәк.Тикшеренүләр күрсәткәнчә, FFU системасы һава чыгу бердәмлеге, һава агымының параллелизмы һәм вентиляция эффективлыгы индексы ягыннан охсыл агым фанат системасыннан өстен.Чөнки FFU системасының һава агымы параллелизмы яхшырак.FFU системасын куллану чиста бүлмәдә һава агымын оештыруны яхшырта ала.
3) ФФУның үз структурасына йогынты
FFU нигездә җанатарлардан, фильтрлардан, һава агымы күрсәтмәләреннән һәм башка компонентлардан тора.Гепа фильтры чиста бүлмә өчен дизайн таләп иткән чисталыкка ирешү өчен иң мөһим гарантия.Фильтр материалы агым кырының бердәмлегенә дә тәэсир итәчәк.Фильтр розеткасына тупас фильтр материалы яки агым тәлинкәсе кушылгач, чыгу агымы җиңел бертөрле ясалырга мөмкин.
2. Төрле чисталык белән тизлек интерфейсының йогынтысы
Шул ук чиста бүлмәдә, эш мәйданы белән вертикаль бер юнәлешле агым булмаган эш урыны арасында, гепа тартмасындагы һава тизлеге аермасы аркасында, интерфейста катнаш вортекс эффекты барлыкка киләчәк, һәм бу интерфейс турбулентка әйләнәчәк. һава агымы зонасы.Airава турбулентлыгының интенсивлыгы аеруча көчле, һәм кисәкчәләр җиһаз машинасы өслегенә таралырга һәм җиһазларны һәм ваферларны пычратырга мөмкин.
3. Персоналга һәм җиһазларга йогынты
Чиста бүлмә буш булганда, бүлмәдәге һава агымы характеристикалары гадәттә дизайн таләпләренә туры килә.Equipmentиһазлар чистарту бүлмәсенә кергәч, кешеләр хәрәкәтләнәләр, продуктлар ташылгач, һава агымы оешмасына котылгысыз киртәләр бар, мәсәлән, җиһаз машинасыннан чыккан кискен нокталар.Почмакларда яки кырларда газ турбулентлы агым өлкәсен формалаштырачак, һәм бу өлкәдәге сыеклык керә торган газ белән җиңел йөртелмәячәк, шулай итеп пычрануга китерә.
Шул ук вакытта, механик җиһаз өслеге өзлексез эшләве аркасында җылытылачак, һәм температура градиенты машина янында чагылыш мәйданына китерәчәк, бу чагылыш өлкәсендә кисәкчәләр туплануны арттыра.Шул ук вакытта, югары температура кисәкчәләрнең җиңеллегенә китерәчәк.Ике эффект гомуми вертикаль катламны көчәйтә.Агым чисталыгын контрольдә тоту кыенлыгы.Чиста бүлмәдәге операторларның тузаны бу чагылган урыннардагы ваферларга җиңел ябыша ала.
4. Кайту һава идәненең йогынтысы
Идән аша үткән кире һаваның каршылыгы төрле булганда, басым аермасы барлыкка киләчәк, һава кечкенә каршылык юнәлешендә агып китә, һәм бердәм һава агымы алынмый.Хәзерге популяр дизайн ысулы - биек идән куллану.Биек идәннең ачылу коэффициенты 10% булганда, һава агымының тизлеге эчке эш биеклегендә тигез бүленергә мөмкин.Моннан тыш, идәндәге пычрану чыганагын киметү өчен чистарту эшләренә катгый игътибар бирелергә тиеш.
5. Индукция күренеше
Индукция феномены бертөрле агымга каршы юнәлештә һава агымын барлыкка китерү, бүлмәдә тузан яки тузанны күрше пычратылган урыннарда өскә таба юнәлтү, шуның белән тузан ваферны пычратуга китерә.Мөмкин булган күренешләргә түбәндәгеләр керә:
(1) Сукыр тәлинкә
Вертикаль бер яклы агымлы чиста бүлмәдә, дивардагы буыннар аркасында, гадәттә, зур сукыр панельләр бар, алар турбулентлы агым һәм җирле агым китерәчәк.
2) Лампалар
Чиста бүлмәдә яктырткычлар зуррак тәэсир итәчәк.Флуоресцент лампаның җылылыгы һава агымының күтәрелүенә китергәнгә, флуоресцент лампа турбулент өлкәгә әйләнмәячәк.Гадәттә, чиста бүлмәдәге лампалар күз яше формасында эшләнгән, лампаларның һава агымын оештыруга тәэсирен киметү өчен.
3) Диварлар арасындагы бушлыклар
Төрле чисталык таләпләре булган диварлар яки түшәмнәр арасында бушлыклар булганда, аз чисталык таләпләре булган җирләрдән тузан югары чисталык таләпләре булган күрше өлкәләргә күчерелергә мөмкин.
4) Механик җиһаз белән идән яки дивар арасы
Әгәр дә механик җиһаз белән идән яки дивар арасындагы аерма кечкенә булса, яңадан турбулентлык барлыкка киләчәк.Шуңа күрә, җиһаз белән дивар арасында бушлык калдырыгыз һәм җир белән туры элемтәдән саклану өчен машина платформасын күтәрегез.
Пост вакыты: Ноябрь-02-2023