Чип җитештерү сәнәгатендә чип чыгару чипка төшкән һава кисәкчәләренең зурлыгы һәм саны белән тыгыз бәйләнгән. Һава агымын яхшы оештыру тузан чыганакларыннан барлыкка килгән кисәкчәләрне чиста бүлмәдән алып китәргә һәм чиста бүлмәнең чисталыгын тәэмин итәргә мөмкин. Ягъни, чиста бүлмәдә һава агымын оештыру чип җитештерү нәтиҗәлелегендә мөһим роль уйный. Чиста бүлмә һава агымын оештыруны проектлауда ирешелергә тиешле максатлар: зарарлы кисәкчәләрнең тоткарлануын булдырмас өчен агым кырындагы дулкынлы агымнарны киметү яки бетерү; үзара пычрануны булдырмас өчен тиешле уңай басым градиентын саклап калу.
Чиста бүлмә принцибы буенча, кисәкчәләргә тәэсир итүче көчләргә масса көче, молекуляр көч, кисәкчәләр арасындагы тартылу көче, һава агымы көче һ.б. керә.
Һава агымы көче: һава агымы көчен аңлата, ул тәэмин итү һәм кире кайтару һава агымы, җылылык конвекциясе һава агымы, ясалма болгату һәм башка билгеле бер агым тизлеге белән кисәкчәләрне йөртүче һава агымнары нәтиҗәсендә барлыкка килә. Чиста бүлмә мохите технологиясен контрольдә тоту өчен һава агымы көче иң мөһим фактор булып тора.
Экспериментлар күрсәткәнчә, һава агымы хәрәкәтендә кисәкчәләр һава агымы артыннан диярлек бер үк тизлектә бара. Һавадагы кисәкчәләрнең торышы һава агымы бүленеше белән билгеләнә. Һава агымының эчке кисәкчәләргә төп йогынтысы түбәндәгеләрне үз эченә ала: һава белән тәэмин итү һава агымы (беренчел һава агымы һәм икенчел һава агымын да кертеп), кешеләрнең йөрүе аркасында барлыкка килгән һава агымы һәм җылылык конвекциясе һава агымы, һәм һава агымының процесс операцияләре һәм сәнәгать җиһазлары аркасында барлыкка килгән кисәкчәләргә йогынтысы. Чиста бүлмәләрдә төрле һава белән тәэмин итү ысуллары, тизлек интерфейслары, операторлар һәм сәнәгать җиһазлары, индукцияләнгән күренешләр һ.б. - болар барысы да чисталык дәрәҗәсенә тәэсир итүче факторлар.
1. Һава белән тәэмин итү ысулының йогынтысы
(1) Һава белән тәэмин итү тизлеге
Бердәм һава агымын тәэмин итү өчен, бер юнәлешле агымлы чиста бүлмәдә һава бирү тизлеге бертигез булырга тиеш; һава бирү өслегендәге үле зона кечкенә булырга тиеш; һәм HEPA фильтрындагы басым төшүе дә бертигез булырга тиеш.
Һава белән тәэмин итү тизлеге бердәм: ягъни һава агымының тигез булмавы ±20% эчендә контрольдә тотыла.
Һава белән тәэмин итү өслегендә үле урын азрак: HEPA рамкасының яссылык мәйданын гына түгел, ә иң мөһиме, артык рамканы гадиләштерү өчен модульле FFU кулланылырга тиеш.
Һава агымының вертикаль һәм бер юнәлешле булуын тәэмин итү өчен, фильтрның басым төшүен сайлау да бик мөһим, һәм фильтр эчендәге басым югалтуны берьяклы итеп билгеләмәскә кирәк.
(2) FFU системасы һәм аксиаль агымлы җилләткеч системасы арасындагы чагыштыру
FFU - вентилятор һәм HEPA фильтры булган һава белән тәэмин итү җайланмасы. Һава FFUның үзәктән качу вентиляторы тарафыннан суырыла һәм динамик басымны һава юлындагы статик басымга әйләндерә. Ул HEPA фильтры белән тигез рәвештә өрелә. Түшәмдәге һава белән тәэмин итү басымы тискәре басым. Шулай итеп, фильтрны алыштырганда чиста бүлмәгә тузан үтеп кермәячәк. Тәҗрибәләр күрсәткәнчә, FFU системасы һава чыгару тигезлеге, һава агымы параллелизмы һәм вентиляция нәтиҗәлелеге индексы буенча аксиаль агым вентилятор системасыннан өстенрәк. Чөнки FFU системасының һава агымы параллелизмы яхшырак. FFU системасын куллану чиста бүлмәдә һава агымын оештыруны яхшырта ала.
(3) FFUның үз структурасының йогынтысы
FFU, нигездә, вентиляторлардан, фильтрлардан, һава агымы юнәлешләреннән һәм башка компонентлардан тора. HEPA фильтры - бүлмәнең чисталыгы өчен, проект таләп иткән чисталыкны тәэмин итүнең иң мөһим гарантиясе. Фильтр материалы да агым кырының бердәмлегенә тәэсир итәчәк. Фильтр чыгу урынына тупас фильтр материалы яки агым пластинасы өстәлгәндә, чыгу агым кырын җиңел генә бердәм итәргә мөмкин.
2. Тизлек интерфейсының төрле чисталык белән йогынтысы
Шул ук чиста бүлмәдә, эш зонасы һәм эшләмәүче зона арасында, вертикаль бер юнәлешле агымлы, HEPA тартмасында һава тизлеге аермасы аркасында, чиктә катнаш вихрь эффекты барлыкка киләчәк, һәм бу чик турбулент һава агымы зонасына әйләнәчәк. Һава турбулентлыгының интенсивлыгы аеруча көчле, һәм кисәкчәләр җиһаз машинасы өслегенә үтеп, җиһазларны һәм пластиналарны пычратырга мөмкин.
3. Персоналга һәм җиһазларга йогынты
Чиста бүлмә буш булганда, бүлмәдәге һава агымы үзенчәлекләре, гадәттә, проект таләпләренә туры килә. Җиһазлар чиста бүлмәгә кергәч, кешеләр хәрәкәт иткәч һәм продуктлар ташылгач, һава агымын оештыруда киртәләргә очрау мөмкин, мәсәлән, җиһаз машинасыннан чыгып торган үткен очлар. Почмакларда яки кырыйларда газ турбулент агым зонасын барлыкка китерү өчен борылачак, һәм бу зонадагы сыеклык керүче газ белән җиңел генә алып китмәячәк, шуның белән пычрануга китерә.
Шул ук вакытта, механик җиһазларның өслеге өзлексез эшләү аркасында җылыначак, һәм температура градиенты машина янында яңадан агу зонасы барлыкка китерәчәк, бу яңадан агу зонасында кисәкчәләр туплануын арттырачак. Шул ук вакытта, югары температура кисәкчәләрнең җиңел генә чыгып китүенә китерәчәк. Икеләтә эффект гомуми вертикаль катламны көчәйтә. Агым чисталыгын контрольдә тоту кыенлыгы. Чиста бүлмәдә операторлардан чыккан тузан бу яңадан агу зоналарындагы пластиналарга җиңел ябышырга мөмкин.
4. Кайтару һава идәненең йогынтысы
Идән аша үтүче кире һаваның каршылыгы төрле булганда, басым аермасы барлыкка киләчәк, бу һаваның кечкенә каршылык юнәлешендә агуына китерә, һәм тигез һава агымы ирешелмәячәк. Хәзерге вакытта популяр проектлау ысулы - күтәрелгән идән куллану. Күтәрелгән идәннең ачылу коэффициенты 10% булганда, һава агымы тизлеге эчке эш биеклегендә тигез бүленергә мөмкин. Моннан тыш, идәндәге пычрану чыганагын киметү өчен чистарту эшләренә җитди игътибар бирергә кирәк.
5. Индукция күренеше
Индукция күренеше дип аталган күренеш, һава агымының тигез агымга каршы юнәлештә барлыкка килүен аңлата, бу күренеш бүлмәдә тузан яки җилгә каршы яктагы пычранган зоналарда тузан барлыкка китерүне аңлата, шуның белән тузанның пластинаны пычратуына китерә. Мөмкин булган индукция күренешләренә түбәндәгеләр керә:
(1) Яшерен пластина
Вертикаль бер яклы агымлы чиста бүлмәдә, стенадагы тоташу урыннары аркасында, гадәттә, зур ялтыравык панельләр була, алар турбулент агым һәм җирле кире агым барлыкка китерәчәк.
(2) Лампалар
Чиста бүлмәдәге яктырту җайланмалары зуррак йогынты ясаячак. Флуоресцент лампаның җылылыгы һава агымын күтәрүгә китергәнлектән, флуоресцент лампа турбулент зонага әйләнмәячәк. Гадәттә, чиста бүлмәдәге лампалар һава агымын оештыруга лампаларның йогынтысын киметү өчен тамчы формасында эшләнгән.
(3) Диварлар арасындагы аралар
Чисталык таләпләре төрле булган бүлгеч стеналар яки түшәмнәр арасында аралар булганда, чисталык таләпләре түбән булган урыннардан тузан югары чисталык таләпләре булган күрше урыннарга күчәргә мөмкин.
(4) Механик җиһазлар белән идән яки стена арасындагы ара
Механик җиһазлар белән идән яки дивар арасындагы ара кечкенә булса, кире кайту турбулентлыгы барлыкка киләчәк. Шуңа күрә җиһазлар белән дивар арасында ара калдырыгыз һәм җир белән турыдан-туры бәйләнештән саклану өчен машина платформасын күтәрегез.
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 2 ноябре