Әйләнә-тирә мохитне саклауга аеруча игътибар бирелә, аеруча томанлы һава торышы арту белән.Чиста бүлмә инженериясе - әйләнә-тирә мохитне саклау чараларының берсе.Әйләнә-тирә мохитне саклауда яхшы эш башкару өчен чиста бүлмә инженериясен ничек кулланырга?Чиста бүлмә инженериясендә контроль турында сөйләшик.
Чиста бүлмәдә температура һәм дым белән идарә итү
Чиста урыннарның температурасы һәм дымлылыгы, нигездә, процесс таләпләренә нигезләнеп билгеләнә, ләкин процесс таләпләрен үтәгәндә, кеше уңайлыгын исәпкә алырга кирәк.Airава чисталыгы таләпләрен яхшырту белән, температура һәм дым өчен катлаулы таләпләр тенденциясе бар.
Гомуми принцип буларак, эшкәртү төгәллеге арту сәбәпле, температураның үзгәрү диапазонына таләпләр кечерәя бара.Мәсәлән, зур масштаблы интеграль схема производствосының литографиясе һәм экспозиция процессында, маска материаллары буларак кулланылган пыяла һәм кремний вафалар арасында җылылык киңәю коэффициентының аермасы көннән-көн кечерәя бара.
Диаметры 100 μ м булган кремний вафат, температура 1 градуска күтәрелгәч, 0,24 μ м сызыклы киңәюгә китерә.Шуңа күрә, constant 0,1 constant даими температура кирәк, һәм дымлылык бәясе түбән, чөнки тирләнгәннән соң продукт пычраначак, аеруча натрийдан курыккан ярымүткәргеч остаханәләрендә.Бу төр семинар 25 thanдан артмаска тиеш.
Артык дым күбрәк проблемалар тудыра.Нисби дым 55% тан артканда, суыткыч су торбасы стенасында конденсация барлыкка киләчәк.Әгәр дә ул төгәл җайланмаларда яки схемаларда булса, ул төрле аварияләр китерергә мөмкин.Нисби дым 50% булганда, дат җиңел.Моннан тыш, дым артык булганда, кремний вафин өслегенә ябышкан тузан химик яктан һавада су молекулалары аша химиклаштырылачак, аны чыгару авыр.
Нисби дым никадәр югары булса, ябышуны бетерү авыррак.Ләкин, чагыштырмача дым 30% -тан түбән булганда, электростатик көч тәэсире аркасында кисәкчәләр дә җиңел үзләштерелә, һәм күп ярымүткәргеч җайланмалар ватылырга мөмкин.Кремний вафин җитештерү өчен оптималь температура диапазоны 35-45%.
Airава басымыконтрольчиста бүлмәдә
Күпчелек чиста урыннар өчен, тышкы пычрану килеп чыкмасын өчен, эчке басымны (статик басым) тышкы басымнан (статик басым) югарырак сакларга кирәк.Басым аермасын саклау гадәттә түбәндәге принципларга туры килергә тиеш:
1. Чиста урыннардагы басым чиста булмаган урыннардагыдан югарырак булырга тиеш.
2. cleanгары чисталык дәрәҗәсе булган урыннардагы басым түбән чисталык дәрәҗәсе булган күрше урыннардагыдан югарырак булырга тиеш.
3. Чиста бүлмәләр арасындагы ишекләр югары чисталык дәрәҗәсе булган бүлмәләргә ачылырга тиеш.
Басым аермасын саклау саф һава күләменә бәйле, ул бу басым аермасы астында бушлыктан һава агып чыгуын каплый ала.Димәк, басым аермасының физик мәгънәсе - чиста бүлмәдәге төрле бушлыклар аша агып чыгу (яки инфилтрация) һава агымының каршылыгы.
Пост вакыты: 21-2023 июль