Әйләнә-тирә мохитне саклау күбрәк һәм күбрәк игътибар бирә, аеруча тазарлы һава торышы белән тула. Чиста бүлмә инженериясе - әйләнә-тирә мохитне саклау чараларының берсе. Әйләнә-тирә мохитне саклау буенча яхшы эшкә чиста бүлмә инженерасын ничек кулланырга? Чиста бүлмә инженериясе белән идарә итү турында сөйләшик.
Чиста бүлмәдә температура һәм дым белән идарә итү
Чиста урыннарның температурасы һәм дым нигездә процесс таләпләренә нигезләнгән, ләкин очрашу процессы таләпләре таләп ителмәгәндә кеше юанычы исәпкә алынырга тиеш. Airава чисталыгы таләпләрен яхшырту белән температура һәм дымлылык өчен катгый таләпләр бар.
Гомуми принцип буларак, эшкәртүне арттыру аркасында температура бәяләү диапазонына таләпләр кечерәк һәм кечерәк була. Мәсәлән, эре интеграль интеграль схеманы экспозиция процессында, маск материаллары арасында кулланылган пыяла белән кремний сарыклары арасында җылылык киңәюенең аермасы киңлеге бар.
Диаметрлы кремний ваферы 100 μ м Температура 1 дәрәҗәгә күтәрелгәч, 0,24 μ м сызыклы киңәйтү. Шуңа күрә, ± 0,1 ℃ даими температурасы кирәк, һәм дымлы кыйммәт гадәттә түбән, чөнки терлекчелекне соң, продукт пычраначак, аеруча нирумнан курыккан ярымүткәргеч остаханәләрдә. Бу төр семинар 25 ℃нан артмаска тиеш.
Артык дымлылык күбрәк проблемалар тудыра. 55% таный, конденсация су торбасы стенасында конденсация формалаштырачак. Әгәр дә ул төгәл җайланмаларда, схемаларда килеп чыкса, бу төрле аварияләргә китерергә мөмкин. Туган дымлылык 50% булганда, датка җиңел. Моннан тыш, дымның артык югары булганда, кремний вафе өслегенә ябышкач, кремик яктан су молекулалары аша су молекулалары аша киселгән, аны бетерү авыр булган.
Туган дымлылык югарырак, ябышуны бетерү авыррак. Ләкин, чагыштырмача дымлелек 30% тан түбән булганда, сайлау электростатик көч аркасында шулай ук җиңел генә адашалар, һәм күп санлы ярымүткәргеч җайланмалар өзелергә мөмкин. Силикон вафер җитештерү өчен оптималь температура диапазоны 35-45% тәшкил итә.
Airава басымыконтрольЧиста бүлмәдә
Күпчелек чиста урыннар өчен, тышкы пычрануны булдырмас өчен, тышкы басымга караганда эчке басым (статик басым) сак булырга кирәк. Басымның аермасын тоту, гадәттә, түбәндәге принципларны үтәргә тиеш:
1. Чиста урыннардагы басым чиста урыннарда моннан югарырак булырга тиеш.
2. Highгары чисталык дәрәҗәсе булган киңлекләрнең басымы түбән чисталык дәрәҗәсе булган янәшә урыннарда югарырак булырга тиеш.
3. Чиста бүлмәләр арасындагы ишекләр югары чисталык дәрәҗәләре булган бүлмәләргә ачылырга тиеш.
Басым аермасын тоту саф эфир күләменә бәйле, алар бу басым аермасындагы бушлыктан һава агып чыгу мөмкинлеген каплый ала. Шуңа күрә басымның физик мәгънәсе - агып чыгу (яки инфильтрация) һаваның чиста бүлмәдә төрле кимчелекләр аша каршылык агымы.
Пост вакыты: Июль-21-2023