Әйләнә-тирә мохитне саклауга, бигрәк тә томанлы һава торышы арту белән, барган саен күбрәк игътибар бирелә. Чиста бүлмә инженериясе - әйләнә-тирә мохитне саклау чараларының берсе. Әйләнә-тирә мохитне саклауда яхшы эш башкару өчен чиста бүлмә инженериясен ничек кулланырга? Әйдәгез, чиста бүлмә инженериясендәге контроль турында сөйләшик.
Чиста бүлмәдә температура һәм дымлылыкны контрольдә тоту
Чиста урыннарның температурасы һәм дымлылыгы, нигездә, процесс таләпләренә нигезләнеп билгеләнә, ләкин процесс таләпләрен үтәгәндә, кеше уңайлыгы исәпкә алынырга тиеш. Һава чисталыгы таләпләре яхшыру белән, процесс барышында температура һәм дымлылыкка катгыйрак таләпләр куела.
Гомуми принцип буларак, эшкәртүнең төгәллеге арту сәбәпле, температура тирбәнешләре диапазонына таләпләр кими бара. Мәсәлән, зур күләмле интеграль схемалар җитештерүнең литография һәм экспозиция процессында, битлек материаллары буларак кулланыла торган пыяла һәм кремний пластиналары арасындагы җылылык киңәю коэффициентындагы аерма барган саен кими бара.
Диаметры 100 мкм булган кремний пластинасы температура 1 градуска артканда 0,24 мкм сызыклы киңәюгә китерә. Шуңа күрә ± 0,1 ℃ даими температура кирәк, һәм дымлылык, гадәттә, түбән, чөнки тирләгәннән соң, продукт пычраначак, бигрәк тә натрийдан курыккан ярымүткәргеч цехларда. Бу типтагы цехлар 25 ℃ тан артмаска тиеш.
Артык дымлылык күбрәк проблемалар тудыра. Чагыштырма дымлылык 55% тан артканда, суыту торбасы стенасында конденсация барлыкка килә. Әгәр ул төгәл җайланмаларда яки схемаларда барлыкка килсә, төрле аварияләргә китерергә мөмкин. Чагыштырма дымлылык 50% булганда, ул җиңел тутыкырга мөмкин. Моннан тыш, дымлылык артык югары булганда, кремний пластинасы өслегенә ябышкан тузан һавадагы су молекулалары аша өслеккә химик рәвештә адсорбцияләнә, аны чыгару авыр.
Чагыштырма дымлылык югарырак булган саен, адгезияне бетерү авыррак. Ләкин, чагыштырма дымлылык 30% тан түбән булганда, электростатик көч тәэсире аркасында кисәкчәләр өслектә җиңел адсорбцияләнә, һәм күп санлы ярымүткәргеч җайланмалар җимерелүгә бирешәләр. Кремний пластинасы җитештерү өчен оптималь температура диапазоны 35-45% тәшкил итә.
Һава басымыконтрольчиста бүлмәдә
Күпчелек чиста урыннар өчен, тышкы пычрануны булдырмас өчен, эчке басымны (статик басым) тышкы басымнан (статик басым) югарырак тотарга кирәк. Басым аермасын саклап калу, гадәттә, түбәндәге принципларга туры килергә тиеш:
1. Чиста урыннардагы басым чиста булмаган урыннардагыга караганда югарырак булырга тиеш.
2. Чисталык дәрәҗәсе югары булган урыннардагы басым, чисталык дәрәҗәсе түбән булган күрше урыннардагыга караганда югарырак булырга тиеш.
3. Чиста бүлмәләр арасындагы ишекләр югары чисталык дәрәҗәсе булган бүлмәләргә ачылырга тиеш.
Басым аермасын саклап калу чиста һава күләменә бәйле, ул бу басым аермасы астындагы аралыктан һава агып чыгуны компенсацияләргә тиеш. Шулай итеп, басым аермасының физик мәгънәсе - чиста бүлмәдә төрле аралар аша һава агып чыгуга (яки инфильтрациягә) каршы тору.
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 21 июле