Интеграль микросхемалар җитештерү сәнәгатендә чипның чыгу тизлеге чипка урнаштырылган һава кисәкчәләренең зурлыгы һәм саны белән тыгыз бәйләнгән. Яхшы һава агымын оештыру тузан чыганагы тарафыннан барлыкка килгән кисәкчәләрне чиста бүлмәдән алып китә ала, бу чиста бүлмәнең чисталыгын тәэмин итә, ягъни чиста бүлмәдә һава агымын оештыру интеграль микросхемалар җитештерүнең чыгу тизлегендә мөһим роль уйный. Чиста бүлмәдә һава агымын оештыруны проектлау түбәндәге максатларга ирешергә тиеш: зарарлы кисәкчәләрнең тоткарлануын булдырмас өчен агым кырындагы дулкын агымын киметү яки бетерү; үзара пычрануны булдырмас өчен тиешле уңай басым градиентын саклап калу.
Һава агымы көче
Чиста бүлмә принцибы буенча, кисәкчәләргә тәэсир итүче көчләргә масса көче, молекуляр көч, кисәкчәләр арасындагы тартылу көче, һава агымы көче һ.б. керә.
Һава агымы көче: кисәкчәләрне йөртү өчен билгеле бер агым тизлеге булган китерү, кире кайтару һава агымы, җылылык конвекциясе һава агымы, ясалма болгату һәм башка һава агымнары нәтиҗәсендә барлыкка килгән һава агымы көчен аңлата. Чиста бүлмә мохитен техник контрольдә тоту өчен һава агымы көче иң мөһим фактор булып тора.
Экспериментлар күрсәткәнчә, һава агымы хәрәкәтендә кисәкчәләр һава агымы хәрәкәтен диярлек бер үк тизлектә күзәтәләр. Һавадагы кисәкчәләрнең торышы һава агымы бүленеше белән билгеләнә. Эчке кисәкчәләргә тәэсир итүче һава агымнары, нигездә, түбәндәгеләрне үз эченә ала: һава белән тәэмин итү һава агымы (беренчел һава агымы һәм икенчел һава агымы да кертеп), кешеләрнең йөрүе аркасында барлыкка килгән һава агымы һәм җылылык конвекциясе һава агымы, шулай ук процесс процессы һәм сәнәгать җиһазлары аркасында барлыкка килгән һава агымы. Төрле һава белән тәэмин итү ысуллары, тизлек интерфейслары, операторлар һәм сәнәгать җиһазлары, һәм чиста бүлмәләрдә барлыкка килгән күренешләр - болар барысы да чисталык дәрәҗәсенә тәэсир итүче факторлар.
Һава агымын оештыруга тәэсир итүче факторлар
1. Һава белән тәэмин итү ысулының йогынтысы
(1). Һава белән тәэмин итү тизлеге
Бердәм һава агымын тәэмин итү өчен, бер юнәлешле чиста бүлмәдә һава белән тәэмин итү тизлеге бертигез булырга тиеш; һава белән тәэмин итү өслегенең үле зонасы кечкенә булырга тиеш; һәм ULPAдагы басым төшүе дә бертигез булырга тиеш.
Бердәм һава бирү тизлеге: ягъни һава агымының тигез булмавы ±20% эчендә контрольдә тотыла.
Һава белән тәэмин итү өслегендә үле зона азрак: ULPA рамкасының яссылык мәйданын гына түгел, ә иң мөһиме, артык рамканы гадиләштерү өчен модульле FFU кулланылырга тиеш.
Вертикаль бер юнәлешле һава агымын тәэмин итү өчен, фильтрның басым төшүен сайлау да бик мөһим, чөнки фильтрдагы басым югалтулары үзгәрмәскә тиеш.
(2). FFU системасы һәм аксиаль агымлы җилләткеч системасын чагыштыру
FFU - вентилятор һәм фильтрлы (ULPA) һава белән тәэмин итү җайланмасы. FFU центрифуга вентиляторы белән һава суырылганнан соң, динамик басым һава каналындагы статик басымга әйләндерелә һәм ULPA белән тигез рәвештә өрелә. Түшәмдәге һава белән тәэмин итү басымы тискәре басым, шуңа күрә фильтрны алыштырганда чиста бүлмәгә тузан үтеп кермәячәк. Тәҗрибәләр күрсәткәнчә, FFU системасы һава чыгару бердәмлеге, һава агымы параллелизмы һәм вентиляция нәтиҗәлелеге индексы буенча күчәр агымы вентилятор системасыннан өстенрәк. Чөнки FFU системасының һава агымы параллелизмы яхшырак. FFU системасын куллану чиста бүлмәдәге һава агымын яхшырак оешкан итә ала.
(3). FFUның үз структурасының йогынтысы
FFU, нигездә, вентиляторлардан, фильтрлардан, һава агымын юнәлтүче җайланмалардан һәм башка компонентлардан тора. ULPA югары нәтиҗәле фильтры чиста бүлмәнең кирәкле чисталыкка ирешә алуының иң мөһим гарантиясе булып тора. Фильтр материалы да агым кырының бердәмлегенә тәэсир итәчәк. Фильтр чыгу урынына эре фильтр материалы яки ламинар агым пластинасы өстәлгәндә, чыгу агым кырын җиңел генә бердәм итәргә мөмкин.
2. Чисталыкның төрле тизлек интерфейсларының йогынтысы
Шул ук чиста бүлмәдә, эш зонасы һәм эшләми торган вертикаль бер юнәлешле агым зонасы арасында, ULPA чыгу урынындагы һава тизлеге аермасы аркасында, чиктә катнаш вихрь эффекты барлыкка киләчәк, һәм бу чик аеруча югары һава турбулентлыгы интенсивлыгы белән турбулент һава агымы зонасына әйләнәчәк. Кисәкчәләр җиһаз өслегенә үтеп, җиһазларны һәм пластиналарны пычратырга мөмкин.
3. Персонал һәм җиһазларның йогынтысы
Чиста бүлмә буш булганда, бүлмәдәге һава агымы үзенчәлекләре, гадәттә, проект таләпләренә туры килә. Җиһазлар чиста бүлмәгә кергәч, персонал хәрәкәт иткәч һәм продуктлар тапшырылгач, һава агымын оештыруда киртә булачак. Мәсәлән, җиһазларның чыгып торган почмакларында яки кырыйларында газ турбулент зона барлыкка китерү өчен юнәлтеләчәк, һәм зонадагы сыеклык газ белән җиңел генә алып кителмәячәк, шуның белән пычрануга китерәчәк. Шул ук вакытта, өзлексез эшләү аркасында җиһаз өслеге җылыначак, һәм температура градиенты машина янында яңадан агу зонасын барлыкка китерәчәк, бу яңадан агу зонасында кисәкчәләр туплануын арттырачак. Шул ук вакытта, югары температура кисәкчәләрнең җиңел генә чыгып китүенә китерәчәк. Икеләтә эффект гомуми вертикаль ламинар чисталыкны контрольдә тоту кыенлыгын көчәйтә. Чиста бүлмәдәге операторлардан чыккан тузан бу яңадан агу зоналарындагы пластиналарга бик җиңел ябышачак.
4. Кайтару һава идәненең йогынтысы
Идән аша үтүче кире һаваның каршылыгы төрле булганда, басым аермасы барлыкка киләчәк, шуңа күрә һава каршылык азрак юнәлештә агачак, һәм тигез һава агымы алынмаячак. Хәзерге вакытта популяр проектлау ысулы - биек идәннәр куллану. Биек идәннәрнең ачылу тизлеге 10% булганда, бүлмәнең эш биеклегендәге һава агымы тизлеге тигез бүленергә мөмкин. Моннан тыш, идәннең пычрану чыганагын киметү өчен чистарту эшләренә җитди игътибар бирергә кирәк.
5. Индукция күренеше
Индукция күренеше дип аталган күренеш, һава агымының тигез агымга каршы юнәлештә барлыкка килүен һәм бүлмәдә яки янәшәдәге пычранган зонада барлыкка килгән тузанның җилгә каршы ягына күчүен аңлата, шуның белән тузан чипны пычратырга мөмкин. Түбәндә мөмкин булган индукция күренешләре китерелә:
(1). Яшерен пластина
Вертикаль берьяклы агымлы чиста бүлмәдә, стенадагы тоташулар аркасында, гадәттә, җирле кире кайту агымында турбулентлык тудырачак зур ялтыравыклы пластиналар була.
(2). Лампалар
Чиста бүлмәдәге яктырту җайланмалары зуррак йогынты ясаячак. Флуоресцент лампаларның җылылыгы һава агымын күтәрүгә китергәнлектән, флуоресцент лампалар астында турбулент зона булмаячак. Гадәттә, чиста бүлмәдәге лампалар һава агымын оештыруга лампаларның йогынтысын киметү өчен тамчы формасында эшләнгән.
(3.) Стеналар арасындагы аралар
Чисталык дәрәҗәсе төрле булган диварлар яки диварлар һәм түшәмнәр арасында аралар булганда, чисталык таләпләре түбән булган зонадан тузан югары чисталык таләпләре булган күрше зонага күчәргә мөмкин.
(4). Машина белән идән яки стена арасындагы ара
Әгәр машина белән идән яки дивар арасындагы ара бик кечкенә булса, бу кире кайту турбулентлыгына китерәчәк. Шуңа күрә, җиһаз белән дивар арасында ара калдырыгыз һәм машинаның җиргә турыдан-туры тиюен булдырмас өчен аны күтәрегез.
Бастырылган вакыты: 2025 елның 5 феврале