IC җитештерү тармагында чип җитештерү дәрәҗәсе чипка салынган һава кисәкчәләренең күләме һәм саны белән тыгыз бәйләнгән. Яхшы һава агымы оешмасы тузан чыганагы тудырган кисәкчәләрне чиста бүлмәнең чисталыгын тәэмин итү өчен чиста бүлмәдән алып китә ала, ягъни чиста бүлмәдәге һава агымы оешмасы IC җитештерү күләмендә мөһим роль уйный. Чиста бүлмәдәге һава агымын оештыру дизайны түбәндәге максатларга ирешергә тиеш: зарарлы кисәкчәләр сакланмасын өчен, агым кырындагы токны киметү яки бетерү; кросс пычрану өчен тиешле уңай басым градиентын саклагыз.
Airава агымы көче
Чиста бүлмә принцибы буенча, кисәкчәләр өстендә эшләүче көчләргә масса көче, молекуляр көч, кисәкчәләр арасындагы тарту, һава агымы һ.б. керә.
Airава агымы көче: җибәрү, кире һава агымы, җылылык конвекция һава агымы, ясалма кузгату һәм кисәкчәләрне йөртү өчен билгеле бер агым тизлеге белән барлыкка килгән һава агымының көчен аңлата. Чиста бүлмә мохитен техник контрольдә тоту өчен һава агымы көче иң мөһим фактор.
Тикшеренүләр күрсәткәнчә, һава агымы хәрәкәтендә кисәкчәләр шул ук тизлектә диярлек һава агымы хәрәкәтенә иярәләр. Airавадагы кисәкчәләрнең торышы һава агымының бүленеше белән билгеләнә. Ябык кисәкчәләргә йогынты ясаучы һава агымы үз эченә ала: һава белән тәэмин итү һава агымы (беренчел һава агымы һәм икенчел һава агымы кертеп), йөргән кешеләр аркасында килеп чыккан һава агымы һәм җылылык конвекция һава агымы, һәм процесс эше һәм сәнәгать җиһазлары аркасында килеп чыккан һава агымы. Төрле һава белән тәэмин итү ысуллары, тизлек интерфейслары, операторлар һәм сәнәгать җиһазлары, чиста бүлмәләрдә китерелгән күренешләр - чисталык дәрәҗәсенә йогынты ясаучы факторлар.
Airава агымын оештыруга тәэсир итүче факторлар
1. airава белән тәэмин итү ысулының йогынтысы
(1). Airава белән тәэмин итү тизлеге
Бердәм һава агымын тәэмин итү өчен, һава белән тәэмин итү тизлеге бер юнәлешле чиста бүлмәдә бертөрле булырга тиеш; һава белән тәэмин итү өслегенең үлгән зонасы кечкенә булырга тиеш; һәм ULPAдагы басым төшүе дә бертөрле булырга тиеш.
Бердәм һава белән тәэмин итү тизлеге: ягъни һава агымының тигезсезлеге ± 20% эчендә контрольдә тотыла.
Airава белән тәэмин итү өслегендә азрак үлгән зона: ULPA рамкасының яссы мәйданы кыскартылырга тиеш түгел, ә иң мөһиме, артык кадрны гадиләштерү өчен модульле FFU кабул ителергә тиеш.
Вертикаль бер юнәлешле һава агымын тәэмин итү өчен, фильтрның басым төшүен сайлау да бик мөһим, фильтрдагы басым югалуы читкә тайпылмаска тиеш.
(2). FFU системасы белән аксыл агым фанаты системасы арасында чагыштыру
FFU - җылыткыч һәм фильтрлы һава тәэмин итү берәмлеге (ULPA). Fава FFUның центрифугаль җанатары белән сеңгәннән соң, динамик басым һава каналындагы статик басымга әверелә һәм ULPA белән тигез шартлый. Түбәдәге һава белән тәэмин итү басымы тискәре басым, фильтр алыштырылганда чиста бүлмәгә тузан кермәсен. Тикшеренүләр күрсәткәнчә, FFU системасы һава чыгу бердәмлеге, һава агымының параллелизмы һәм вентиляция эффективлыгы индексы ягыннан охсыл агым фанат системасыннан өстен. Чөнки FFU системасының һава агымы параллелизмы яхшырак. FFU системасын куллану чиста бүлмәдәге һава агымын яхшырак оештырырга мөмкин.
(3). ФФУның үз структурасы йогынтысы
FFU нигездә җанатарлардан, фильтрлардан, һава агымы белән идарә итү җайланмаларыннан һәм башка компонентлардан тора. Ультра югары эффективлык фильтры ULPA - чиста бүлмә дизайнның кирәкле чисталыгына ирешә алуы өчен иң мөһим гарантия. Фильтр материалы агым кырының бердәмлегенә дә тәэсир итәчәк. Фильтр розеткасына каты фильтр материалы яки ламинар агым тәлинкәсе кушылгач, чыгу агымы кыры җиңел бертөрле ясалырга мөмкин.
2. Чисталыкның төрле тизлек интерфейсларының йогынтысы
Шул ук чиста бүлмәдә, эш урыны белән вертикаль бер юнәлешле агымның эшләмәгән өлкәсе арасында, ULPA розеткасында һава тизлегенең аермасы аркасында, интерфейста катнаш вортекс эффекты барлыкка киләчәк, һәм бу интерфейс аеруча югары һава турбулентлыгы интенсивлыгы белән турбулентлы һава агымы зонасына әйләнәчәк. Кисәкчәләр җиһаз өслегенә таралырга һәм җиһазларны һәм ваферларны пычратырга мөмкин.
3. Персонал һәм җиһазларның йогынтысы
Чиста бүлмә буш булганда, бүлмәдәге һава агымы характеристикалары дизайн таләпләренә туры килә. Equipmentиһазлар чиста бүлмәгә кергәч, персонал хәрәкәтләнә һәм продуктлар җибәрелә, һава агымын оештыру өчен котылгысыз киртәләр булачак. Мәсәлән, җиһазның озын почмакларында яки кырларында газ турбулентлы зона формалаштырылачак, һәм зонадагы сыеклык газ белән җиңел йөртелми, шулай итеп пычрануга китерә. Шул ук вакытта, җиһаз өслеге өзлексез эшләве аркасында җылыныр, һәм температура градиенты машина янында чагылыш зонасына китерәчәк, бу чагылдыру зонасында кисәкчәләр туплануны арттырачак. Шул ук вакытта, югары температура кисәкчәләрнең җиңеллегенә китерәчәк. Ике эффект гомуми вертикаль ламинар чисталыкны контрольдә тоту кыенлыгын көчәйтә. Чиста бүлмәдәге операторларның тузаны бу чагылдыру зоналарындагы ваферларга ябышу бик җиңел.
4. Кайту һава идәненең йогынтысы
Идән аша үткән һаваның каршылыгы төрле булганда, басым аермасы барлыкка киләчәк, шулай итеп һава аз каршылык юнәлешендә агып китәр, һәм бердәм һава агымы алынмас. Хәзерге популяр дизайн ысулы - биек идәннәрне куллану. Биек идәннәрнең ачылу дәрәҗәсе 10% булганда, бүлмәнең эш биеклегендәге һава агымының тизлеге тигез бүленергә мөмкин. Моннан тыш, идәннең пычрану чыганагын киметү өчен чистарту эшләренә катгый игътибар бирелергә тиеш.
5. Индукция күренеше
Индукция феномены бертөрле агымның капма-каршы юнәлешендәге һава агымы барлыкка килү күренешен аңлата, һәм бүлмәдә тузан яки күрше пычратылган җирдәге тузан өске якка китерелә, тузан чипны пычрата ала. Түбәндә мөмкин булган индукция күренешләре:
(1). Сукыр тәлинкә
Вертикаль бер юнәлешле агымлы чиста бүлмәдә, дивардагы буыннар аркасында, гадәттә, зур сукыр тәлинкәләр бар, алар җирле кире агымда турбулентлык тудырачак.
(2). Лампалар
Чиста бүлмәдәге яктырткычлар зуррак тәэсир итәчәк. Флуоресцент лампаларның җылылыгы һава агымының күтәрелүенә китергәнгә, флуоресцент лампалар астында турбулент мәйдан булмас. Гадәттә, чиста бүлмәдәге лампалар күз яше формасында эшләнгән, лампаларның һава агымына тәэсирен киметү өчен.
(3.) Диварлар арасындагы бушлыклар
Төрле чисталык дәрәҗәсе булган бүлекләр арасында яки бүлмәләр һәм түшәмнәр арасында бушлыклар булганда, аз чисталык таләпләре булган районнан тузан югары чисталык таләпләре белән күрше районга күчерелергә мөмкин.
(4). Машина белән идән яки дивар арасы
Әгәр дә машина белән идән яки дивар арасындагы аерма бик кечкенә булса, ул турбулентлыкка китерәчәк. Шуңа күрә, җиһаз белән дивар арасында бушлык калдырыгыз һәм машинаны җиргә турыдан-туры кагылмас өчен машинаны күтәрегез.
Пост вакыты: Февраль-05-2025