Кисәкчәләрне катгый контрольдә тотудан тыш, электрон чиста бүлмәдә чип җитештерү цехлары, интеграль схема тузансыз остаханәләр һәм диск җитештерү цехлары да температура һәм дымлылыкны контрольдә тоту, яктырту һәм микрошок өчен катгыйрак таләпләргә ия. Статик электр энергиясенең җитештерү продуктларына йогынтысын катгый рәвештә бетерегез, шуның белән әйләнә-тирә мохит электрон продуктларның җитештерү процессы таләпләренә туры килә алсын.
Электрон чиста бүлмәнең температурасы һәм дымлылыгы җитештерү процессы таләпләренә туры китереп билгеләнергә тиеш. Җитештерү процессы өчен махсус таләпләр булмаганда, температура 20-26°C, ә чагыштырма дымлылык 30%-70% булырга мөмкин. Персонал өчен чиста бүлмә һәм яшәү бүлмәсенең температурасы 16-28℃ булырга мөмкин. Халыкара ISO стандартларына туры килә торган Кытай милли GB-50073 стандарты буенча, бу төр чиста бүлмәнең чисталык дәрәҗәсе 1-9. Алар арасында, 1-5 класс, һава агымы схемасы бер юнәлешле агым яки катнаш агым; 6 класс һава агымы схемасы бер юнәлешле булмаган агым һәм һава алмашу 50-60 тапкыр/сәг; 7 класс һава агымы тибы бер юнәлешле булмаган агым, һәм һава алмашу 15-25 тапкыр/сәг; 8-9 класс һава агымы тибы бер юнәлешле булмаган агым, һава алмашу 10-15 тапкыр/сәг.
Хәзерге спецификацияләр буенча, 10,000 класслы электрон чиста бүлмә эчендәге тавыш дәрәҗәсе 65 дБ(А) тан артмаска тиеш.
1. Электрон чиста бүлмәдә вертикаль агымлы чиста бүлмәнең тулы нисбәте 60% тан ким булмаска тиеш, ә горизонталь бер юнәлешле чиста бүлмәнең агымы 40% тан ким булмаска тиеш, югыйсә ул өлешчә бер юнәлешле агым булачак.
2. Электрон чиста бүлмә белән ачык һава арасындагы статик басым аермасы 10Падан ким булмаска тиеш, ә чиста зоналар белән чиста булмаган зоналар арасындагы статик басым аермасы төрле һава чисталыгы булган зоналар арасында 5Падан ким булмаска тиеш.
3. 10000 класслы электрон чиста бүлмәдәге чиста һава күләме түбәндәге ике әйбернең кыйммәтен алырга тиеш.
4. Эчке уңай басым кыйммәтен саклап калу өчен кирәкле эчке чыгару һавасы күләме һәм чиста һава күләменең суммасын компенсацияләгез.
5. Чиста бүлмәгә сәгатенә бер кешегә туры килә торган чиста һава күләме 40 квадрат метрдан ким булмаска тиеш.
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 8 апреле
