1. Тузансыз чиста бүлмәдә тузан кисәкчәләрен чыгару
Чиста бүлмәнең төп функциясе - продуктлар (мәсәлән, кремний кисәкләре һ.б.) тәэсир иткән атмосфераның чисталыгын, температурасын һәм дымлылыгын контрольдә тоту, шуңа күрә продуктлар яхшы мохиттә җитештерелә һәм җитештерелә ала. Без бу урынны чиста бүлмә дип атыйбыз. Халыкара практика буенча, чисталык дәрәҗәсе, нигездә, классификация стандартыннан зуррак диаметрлы куб метр һавадагы кисәкчәләр саны белән билгеләнә. Икенче төрле әйткәндә, тузансыз дип аталган 100% тузансыз түгел, ә бик кечкенә берәмлектә контрольдә тотыла. Әлбәттә, бу стандарттагы тузан стандартына туры килә торган кисәкчәләр без күргән гадәти тузан белән чагыштырганда бик кечкенә, ләкин оптик корылмалар өчен хәтта аз гына тузан да бик зур тискәре йогынты ясаячак, шуңа күрә тузансызлык оптик корылма продуктларын җитештерүдә котылгысыз таләп булып тора.
Тузан кисәкчәләре саны куб метрына 0,5 микроннан зуррак яки 3520/куб метрга кадәр булган тузан кисәкчәләре санын контрольдә тоту халыкара тузансыз стандартның А классына җитәчәк. Чип дәрәҗәсендә җитештерү һәм эшкәртүдә кулланыла торган тузансыз стандарт тузанга карата А классына караганда югарырак таләпләргә ия, һәм мондый югары стандарт, нигездә, кайбер югарырак дәрәҗәдәге чиплар җитештерүдә кулланыла. Тузан кисәкчәләре саны куб метрына 35200 күләмендә катгый контрольдә тотыла, бу гадәттә чиста бүлмә сәнәгатендә В классы дип атала.
2. Өч төрле чиста бүлмә халәте
Буш чиста бүлмә: төзелгән һәм кулланылышка тапшырылырга мөмкин булган чиста бүлмә корылмасы. Анда барлык тиешле хезмәтләр һәм функцияләр бар. Ләкин, корылмада операторлар тарафыннан эшләтелә торган җиһазлар юк.
Статик чиста бүлмә: тулы функцияләре, тиешле көйләүләре һәм урнаштыруы булган чиста бүлмә корылмасы, көйләүләргә туры китереп яки кулланыла, ләкин корылмада операторлар юк.
Динамик чиста бүлмә: гадәти кулланылыштагы чиста бүлмә, тулы хезмәт күрсәтү функцияләре, җиһазлар һәм персонал белән; кирәк булса, гадәти эш башкарылырга мөмкин.
3. Контроль элементлары
(1). Һавада йөзеп йөрүче тузан кисәкчәләрен бетерә ала.
(2). Тузан кисәкчәләре барлыкка килүенә комачаулый ала.
(3). Температура һәм дымлылыкны контрольдә тоту.
(4). Басымны көйләү.
(5). Зыянлы газларны бетерү.
(6). Корылмаларның һәм бүлекләрнең һава үткәрмәүчәнлеге.
(7). Статик электр тогын булдырмау.
(8). Электромагнит комачаулавын булдырмау.
(9). Куркынычсызлык факторларын исәпкә алу.
(10). Энергияне саклауны исәпкә алу.
4. Классификация
Турбулент агым төре
Һава чиста бүлмәгә кондиционер тартмасыннан һава каналы һәм һава фильтры (HEPA) аша керә һәм чиста бүлмәнең ике ягындагы бүлгеч стена панельләреннән яки биек идәннәрдән кире кайтарыла. Һава агымы сызыклы рәвештә хәрәкәт итми, ләкин тәртипсез турбулент яки дулкынлы халәт күрсәтә. Бу төр 1000-100000 класслы чиста бүлмә өчен яраклы.
Билгеләмә: Һава агымы тигез булмаган тизлектә ага торган һәм параллель булмаган, кире агым яки дулкынлы агым белән озатыла торган чиста бүлмә.
Принцип: Турбулент чиста бүлмәләр һава белән тәэмин итү һава агымына таянып, эчке һаваны өзлексез суыта һәм пычранган һаваны әкренләп суыта, шуңа күрә чисталык тәэмин ителә (турбулент чиста бүлмәләр, гадәттә, 1000 нән 300 000 гә кадәр чисталык дәрәҗәсендә эшләнгән).
Үзенчәлекләре: Турбулент чисталык бүлмәләре чисталык һәм чисталык дәрәҗәсенә ирешү өчен күп вентиляциягә таяна. Вентиляция үзгәрешләре саны билгеләмәдә чисталык дәрәҗәсен билгели (вентиляция күбрәк үзгәргән саен, чисталык дәрәҗәсе югарырак).
(1) Үз-үзеңне чистарту вакыты: чиста бүлмә проектланган вентиляция саны буенча чиста бүлмәгә һава бирә башлаган һәм бүлмәдәге тузан концентрациясе проектланган чисталык дәрәҗәсенә җиткән вакытны аңлата. 1000 класс 20 минуттан да артмаска тиеш (исәпләү өчен 15 минут кулланырга мөмкин), 10000 класс 30 минуттан да артмаска тиеш (исәпләү өчен 25 минут кулланырга мөмкин), 100000 класс 40 минуттан да артмаска тиеш (исәпләү өчен 30 минут кулланырга мөмкин)
(2) Җилләтү ешлыгы (югарыда күрсәтелгән үз-үзен чистарту вакыты таләпләренә туры китереп эшләнгән) 1000 класс: сәгатенә 43,5-55,3 тапкыр (стандарт: сәгатенә 50 тапкыр) 10000 класс: сәгатенә 23,8-28,6 тапкыр (стандарт: сәгатенә 25 тапкыр) 100000 класс: сәгатенә 14,4-19,2 тапкыр (стандарт: сәгатенә 15 тапкыр)
Өстенлекләре: гади структура, система төзелешенең түбән бәясе, чиста бүлмәне киңәйтү җиңел, кайбер махсус максатлы урыннарда тузансыз чиста эскәмия чиста бүлмә дәрәҗәсен яхшырту өчен кулланылырга мөмкин.
Кимчелекләре: турбулентлык аркасында барлыкка килгән тузан кисәкчәләре эчке киңлектә йөзеп йөри һәм аларны чыгару авыр, бу исә процесс продуктларын җиңел пычратырга мөмкин. Моннан тыш, система туктатылса һәм аннары эшләтеп җибәрелсә, кирәкле чисталыкны тәэмин итү өчен еш кына күп вакыт кирәк була.
Ламинар агым
Ламинар агымлы һава тигез туры сызык буенча хәрәкәт итә. Һава бүлмәгә 100% каплау дәрәҗәсе булган фильтр аша керә һәм күтәрелгән идән яки ике яктагы бүлгеч такталар аша кире кайтарыла. Бу төр чиста бүлмә дәрәҗәсе югарырак булган чиста бүлмә мохитендә, гадәттә 1-100 класста куллану өчен яраклы. Ике төре бар:
(1) Горизонталь ламинар агым: Горизонталь һава фильтрдан бер юнәлештә өрелә һәм каршы яктагы кире һава системасы белән кире кайтарыла. Тузан һава юнәлеше белән тышка чыгарыла. Гадәттә, пычрану агымның аскы өлешендә җитдирәк.
Өстенлекләре: Гади структура, эксплуатациядән соң кыска вакыт эчендә тотрыклы була ала.
Кимчелекләре: Төзелеш бәясе турбулент агымга караганда югарырак, һәм эчке мәйданны киңәйтү җиңел түгел.
(2) Вертикаль ламинар агым: Бүлмә түшәме тулысынча ULPA фильтрлары белән капланган, һәм һава өстән аска өрелә, бу югарырак чисталык тәэмин итә. Процесс барышында яки хезмәткәрләр тарафыннан барлыкка килгән тузанны башка эш зоналарына тәэсир итмичә тиз арада тышка чыгарырга мөмкин.
Өстенлекләре: Идарә итү җиңел, тотрыклы халәткә эш башланганнан соң кыска вакыт эчендә ирешергә мөмкин, һәм эш халәте яки операторлар аңа җиңел тәэсир итми.
Кимчелекләре: Төзелешнең югары бәясе, урынны сыгылмалы куллану авыр, түшәм элгечләре күп урын били, һәм фильтрларны ремонтлау һәм алыштыру авыр.
Композит төре
Композит төр - турбулент агым төрен һәм ламинар агым төрен бергә кушу яки куллану, бу җирле ультра-чиста һава тәэмин итә ала.
(1) Чиста туннель: Чисталык дәрәҗәсен 10 нчы класстан югарырак күтәрү өчен, процесс мәйданының яки эш мәйданының 100% ын каплау өчен HEPA яки ULPA фильтрларын кулланыгыз, бу урнаштыру һәм эксплуатация чыгымнарын экономияләргә мөмкинлек бирә.
Бу төр операторның эш өлкәсен продукттан һәм машинага хезмәт күрсәтүдән аерып куярга, машинага хезмәт күрсәтү вакытында эшкә һәм сыйфатка тәэсир итмәүне таләп итә.
Чиста тоннельләрнең тагын ике өстенлеге бар: А. Җиңел киңәйтү; Б. Җиһазларга хезмәт күрсәтүне хезмәт күрсәтү зонасында җиңел башкарырга мөмкин.
(2) Чиста торба: Продукция агымы үтә торган автоматик җитештерү линиясен әйләндереп алыгыз һәм чистартыгыз, һәм чисталык дәрәҗәсен 100 нче класстан югарырак күтәрегез. Продукция, оператор һәм тузан барлыкка китерә торган мохит бер-берсеннән изоляцияләнгәнлектән, аз күләмдә һава белән тәэмин итү яхшы чисталыкны тәэмин итә ала, бу энергияне экономияләргә мөмкинлек бирә һәм кул хезмәтен таләп итмәгән автоматик җитештерү линияләре өчен иң кулай. Бу фармацевтика, азык-төлек һәм ярымүткәргеч сәнәгатьләрендә кулланыла.
(3) Чиста урын: Җитештерү максатларында чиста бүлмә дәрәҗәсе 10,000 ~ 100,000 булган турбулент чиста бүлмәдәге продукт эшкәртү зонасының чисталык дәрәҗәсе 10 ~ 1000 гә кадәр яки аннан да югарырак күтәрелә; чиста эш өстәлләре, чиста сарайлар, алдан әзерләнгән чиста бүлмәләр һәм чиста шкафлар бу категориягә керә.
Чиста эскәмия: 1~100 класс.
Чисталык кабинасы: Турбулент чиста бүлмә киңлегендә антистатик үтә күренмәле пластик тукыма белән әйләндереп алынган кечкенә киңлек, бәйсез HEPA яки ULPA һәм кондиционер җайланмалары кулланып, югарырак дәрәҗәдәге чиста киңлеккә әйләндерелә, дәрәҗәсе 10 ~ 1000, биеклеге якынча 2,5 метр һәм мәйданы якынча 10 м2 яки аннан да кимрәк. Аның дүрт баганалары бар һәм сыгылмалы куллану өчен хәрәкәтләнә торган тәгәрмәчләр белән җиһазландырылган.
5. Һава агымы агымы
Һава агымының әһәмияте
Чиста бүлмәнең чисталыгына еш кына һава агымы тәэсир итә. Икенче төрле әйткәндә, кешеләр, машина бүлекләре, төзелеш конструкцияләре һ.б. тарафыннан барлыкка килгән тузанның хәрәкәте һәм таралуы һава агымы белән контрольдә тотыла.
Чиста бүлмә һаваны фильтрлау өчен HEPA һәм ULPA куллана, һәм аның тузан җыю дәрәҗәсе 99,97 ~ 99,99995% ка кадәр җитә, шуңа күрә бу фильтр белән фильтрланган һава бик чиста дип әйтергә мөмкин. Ләкин, кешеләрдән тыш, чиста бүлмәдә машиналар кебек тузан чыганаклары да бар. Бу тузаннар таралганнан соң, чиста урынны саклап калу мөмкин түгел, шуңа күрә тузанны тиз арада тышка чыгару өчен һава агымын кулланырга кирәк.
Тәэсир итүче факторлар
Чиста бүлмәнең һава агымына тәэсир итүче күп факторлар бар, мәсәлән, технологик җиһазлар, персонал, чиста бүлмә җыю материаллары, яктырту җайланмалары һ.б. Шул ук вакытта, җитештерү җиһазлары өстендәге һава агымының юнәлешен дә исәпкә алырга кирәк.
Гомуми операция өстәле яки җитештерү җиһазлары өслегендәге һава агымын читкә юнәлтү ноктасы чиста бүлмә киңлеге һәм бүлгеч такта арасындагы араның 2/3 өлешендә урнаштырылырга тиеш. Шулай итеп, оператор эшләгәндә, һава агымы процесс зонасының эчке ягыннан эш зонасына агып, тузанны алып китә ала; әгәр читкә юнәлтү ноктасы процесс зонасы алдында урнаштырылса, ул дөрес булмаган һава агымын читкә юнәлтәчәк. Бу вакытта һава агымының күпчелек өлеше процесс зонасының артына агып төшәчәк, һәм операторның эше нәтиҗәсендә барлыкка килгән тузан җиһазның артына күчәчәк, һәм эш өстәле пычраначак, һәм җитештерүчәнлек һичшиксез кимиячәк.
Чиста бүлмәләрдәге эш өстәлләре кебек киртәләрнең тоташкан урыннарында дулкынлы агымнар булачак, һәм алар янындагы чисталык чагыштырмача начар булачак. Эш өстәлендә кире һава тишеген бораулау дулкынлы агым күренешен минимальләштерәчәк; җыю материалларын сайлау дөресме һәм җиһазларның урнашуы камилме - бу һава агымының дулкынлы агым күренешенә әйләнү-әйләнмәү өчен мөһим факторлар.
6. Чиста бүлмәнең составы
Чиста бүлмә составы түбәндәге системалардан тора (аларның берсе дә система молекулаларында алыштыргысыз түгел), югыйсә тулы һәм югары сыйфатлы чиста бүлмә булдыру мөмкин булмаячак:
(1) Түшәм системасы: түшәм таягын, I-нурлы яки U-нурлы, түшәм челтәрен яки түшәм рамкасын үз эченә ала.
(2) Кондиционер системасы: һава кабинасы, фильтр системасы, җил тегермәне һ.б. кертеп.
(3) Өлешле дивар: тәрәзәләр һәм ишекләр белән бергә.
(4) Идән: күтәрелгән идән яки антистатик идәнне дә кертеп.
(5) Яктырту җайланмалары: LED чистарту яссы лампасы.
Чиста бүлмәнең төп конструкциясе, гадәттә, корыч такталардан яки сөяк цементыннан ясала, ләкин ул нинди генә конструкция булмасын, ул түбәндәге шартларга туры килергә тиеш:
A. Температура үзгәрүләре һәм тибрәнүләр аркасында ярыклар барлыкка килмәячәк;
B. Тузан кисәкчәләрен җитештерү җиңел түгел, һәм кисәкчәләрнең беркетелүе авыр;
C. Түбән гигроскопиклык;
D. Чиста бүлмәдә дымлылык дәрәҗәсен саклап калу өчен, җылылык изоляциясе югары булырга тиеш;
7. Кулланылышы буенча классификация
Сәнәгать чиста бүлмәсе
Җансыз кисәкчәләрне контрольдә тоту - объект. Ул, нигездә, эш объектына һава тузан кисәкчәләренең пычрануын контрольдә тота, һәм эчке өлеш, гадәттә, уңай басым халәтен саклый. Ул төгәл машина төзелеше сәнәгате, электроника сәнәгате (ярымүткәргечләр, интеграль схемалар һ.б.), аэрокосмик сәнәгать, югары чисталыклы химия сәнәгате, атом энергиясе сәнәгате, оптик һәм магнит продуктлары сәнәгате (CD, пленка, тасма җитештерү), LCD (сыек кристалл пыяла), компьютер каты дискы, компьютер башлары җитештерү һәм башка тармаклар өчен яраклы.
Биологик чисталык бүлмәсе
Эшче объектка тере кисәкчәләрнең (бактерияләр) һәм җансыз кисәкчәләрнең (тузан) пычрануын контрольдә тота. Аны түбәндәгеләргә бүлеп була:
A. Гомуми биологик чисталык бүлмәсе: нигездә, микроб (бактериаль) объектларның пычрануын контрольдә тота. Шул ук вакытта, аның эчке материаллары төрле стерилизацияләүче матдәләрнең эрозиясенә чыдам булырга тиеш, һәм эчке өлеше, гадәттә, уңай басымны гарантияли. Нигездә, эчке материаллар сәнәгать чисталык бүлмәсенең төрле стерилизацияләү процедураларына чыдам булырга тиеш. Мисаллар: фармацевтика сәнәгате, хастаханәләр (операция бүлмәләре, стериль палаталар), азык-төлек, косметика, эчемлекләр җитештерү, хайваннар лабораторияләре, физик һәм химик сынау лабораторияләре, кан станцияләре һ.б.
B. Биологик куркынычсызлык чиста бүлмә: нигездә, эш объектының тере кисәкчәләренең тышкы дөньяга һәм кешеләргә пычрануын контрольдә тота. Эчке басым атмосфера белән тискәре булырга тиеш. Мисаллар: бактериология, биология, чиста лабораторияләр, физик инженерия (рекомбинант геннар, вакцина әзерләү)
Бастырылган вакыты: 2025 елның 7 феврале