

1. Тузансыз чиста бүлмәдә тузан кисәкчәләрен чыгару
Чиста бүлмәнең төп функциясе - продуктлар (кремний чиплары һ.б.) тәэсир иткән атмосфераның чисталыгын, температурасын һәм дымлылыгын контрольдә тоту, продуктлар яхшы әйләнә-тирәдә җитештерелергә һәм җитештерелергә мөмкин. Без бу урынны чиста бүлмә дип атыйбыз. Халыкара практика буенча, чисталык дәрәҗәсе, нигездә, классификация стандартыннан зуррак диаметрлы һава кубына кисәкчәләр саны белән билгеләнә. Башкача әйткәндә, тузансыз дип аталганнар 100% тузансыз түгел, ә бик кечкенә берәмлектә контрольдә тотыла. Әлбәттә, бу стандарттагы тузан стандартына туры килгән кисәкчәләр без күргән гомуми тузан белән чагыштырганда бик кечкенә, ләкин оптик корылмалар өчен хәтта кечкенә тузан да бик зур тискәре йогынты ясар, шуңа күрә оптик структура продуктлары җитештерүдә тузансыз котылгысыз таләп.
Кубик метрга 0,5 микроннан зуррак яки тигез булган тузан кисәкчәләре санын контрольдә тоту, куб метрына 3520 / куб метрдан да ким булмаган халыкара тузансыз стандартның А классына җитәчәк. Чип дәрәҗәсендә җитештерүдә һәм эшкәртүдә кулланылган тузансыз стандарт А классына караганда тузанга күбрәк таләпләргә ия, һәм мондый югары стандарт, нигездә, кайбер югары дәрәҗәдәге чиплар җитештерүдә кулланыла. Тузан кисәкчәләре саны куб метрга 35,200 белән контрольдә тотыла, бу чиста бүлмә сәнәгатендә гадәттә В класс дип атала.
2. Чиста бүлмәнең өч төре
Буш чиста бүлмә: төзелгән һәм кулланырга мөмкин булган чиста бүлмә. Аның барлык хезмәтләре һәм функцияләре бар. Ләкин, объектта операторлар эшли торган җиһаз юк.
Статик чиста бүлмә: тулы функцияләре, тиешле көйләүләре һәм монтажлары булган чиста бүлмә, көйләүләр буенча кулланыла ала яки кулланыла, ләкин объектта операторлар юк.
Динамик чиста бүлмә: тулы куллану функцияләре, җиһазлар һәм персонал белән гадәти куллануда чиста бүлмә. кирәк булса, гадәти эш башкарылырга мөмкин.
3. Контроль әйберләр
(1). Airавада йөзә торган тузан кисәкчәләрен бетерә ала.
(2). Тузан кисәкчәләре барлыкка килүдән саклый ала.
(3). Температура һәм дым белән идарә итү.
(4). Басымны көйләү.
(5). Зыянлы газларны бетерү.
(6). Структураларның һәм бүлмәләрнең һава тыгызлыгы.
(7). Статик электрны профилактикалау.
(8). Электромагнит комачаулавын булдырмау.
(9). Куркынычсызлык факторларын карау.
(10). Энергияне сак тоту турында уйлау.
4. Классификация
Турбулент агым тибы
Airава чиста бүлмәгә кондиционер тартмасыннан һава челтәре һәм чиста бүлмәдәге һава фильтры (HEPA) аша керә, һәм бүлмәнең дивар панельләреннән яки чиста бүлмәнең ике ягында биек идәннәрдән кире кайтарыла. Airава агымы сызыклы рәвештә хәрәкәтләнми, ләкин тәртипсез турбулент яки ямьсез хәлне күрсәтә. Бу төр 1000-100,000 чиста бүлмә өчен яраклы.
Аңлатма: чиста бүлмә, анда һава агымы тигез булмаган тизлектә агыла һәм параллель түгел, кире агым яки чиста ток белән бергә.
Принцип: Турбулентлы чиста бүлмәләр эчке һаваны өзлексез эретү һәм чисталыкка ирешү өчен пычратылган һаваны әкренләп эретү өчен һава тәэмин итү һава агымына таяналар (турбулентлы чиста бүлмәләр гадәттә чисталык дәрәҗәсендә 1000 - 300,000 өстендә эшләнгән).
Характеристикалары: Турбулентлы чиста бүлмәләр чисталыкка һәм чисталык дәрәҗәсенә ирешү өчен берничә вентиляциягә таяналар. Вентиляция үзгәрүләре саны чистарту дәрәҗәсен билгели (вентиляция никадәр үзгәрсә, чисталык дәрәҗәсе дә югары)
.
.
Уңай яклары: гади структура, аз система төзелеше бәясе, чиста бүлмәне киңәйтү җиңел, кайбер махсус максатларда чиста бүлмә дәрәҗәсен күтәрү өчен тузансыз чиста эскәмия кулланырга мөмкин.
Кимчелекләр: турбулентлык аркасында тузан кисәкчәләре эчке киңлектә йөзәләр һәм эшкәртү продуктларын җиңел пычратырга мөмкин булган чыгару авыр. Моннан тыш, система туктатылып, аннары активлашса, кирәкле чисталыкка ирешү өчен еш вакыт кирәк.
Ламинар агым
Ламинар агым һавасы бердәм туры сызыкта хәрәкәт итә. Airава бүлмәгә 100% каплау дәрәҗәсе булган фильтр аша керә һәм биек идән яки ике яктагы бүлек такталары аша кайтарыла. Бу төр чиста бүлмә шартларында югары чиста класслы классларда куллану өчен яраклы, гадәттә 1 ~ 100 класс. Ике төрле:
(1) Горизонталь ламинар агым: Горизонталь һава фильтрдан бер юнәлештә чыгарыла һәм кире һава системасы кире диварда кире кайтарыла. Тузан һава юнәлеше белән ачык һавада чыгарыла. Гадәттә, пычрану аскы ягында җитдирәк.
Уңай яклары: Гади структура, эшләгәннән соң кыска вакыт эчендә тотрыклы булырга мөмкин.
Кимчелекләр: Төзелеш бәясе турбулентлы агымнан югарырак, һәм эчке мәйданны киңәйтү җиңел түгел.
(2) Вертикаль ламинар агым: Бүлмә түшәме тулысынча ULPA фильтрлары белән капланган, һәм югарыдан аска һава шартлый, бу югары чисталыкка ирешә ала. Процесс вакытында яисә персонал тарафыннан тудырылган тузан башка эш өлкәләренә тәэсир итмичә тиз ачык һавада чыгарылырга мөмкин.
Уңай яклары: идарә итү җиңел, тотрыклы халәт операция башланганнан соң кыска вакыт эчендә ирешергә мөмкин, һәм оператив дәүләт яки операторларга җиңел тәэсир итми.
Кимчелекләр: constructionгары төзелеш бәясе, урынны сыгылмалы куллану кыен, түшәм элгечләре күп урын били, һәм фильтрларны ремонтлау һәм алыштыру авыр.
Композит төр
Композит тибы - турбулент агым тибын һәм ламинар агым тибын берләштерү яки куллану, ул җирле ультра чиста һава бирә ала.
.
Бу төр операторның эш өлкәсен машина белән тәэмин итү вакытында эшкә һәм сыйфатка тәэсир итмәс өчен продукт һәм машина белән тәэмин итүдән аерылырга тиеш.
Чиста тоннельләрнең тагын ике өстенлеге бар: A. Эчкерсез киңәю; B. Equipmentиһазларга хезмәт күрсәтү техник хезмәт күрсәтү өлкәсендә җиңел башкарылырга мөмкин.
. Бу фармацевтика, азык-төлек һәм ярымүткәргеч тармакларына кагыла.
(3) Чиста тап: 10,000 ~ 100,000 чиста бүлмә дәрәҗәсе булган турбулентлы чиста бүлмәдә продукт эшкәртү өлкәсенең чисталык дәрәҗәсе җитештерү максатларында 10 ~ 1000 яки аннан да югарыга күтәрелә; чиста эш урыннары, чиста абзарлар, әзер чиста бүлмәләр, чиста гардероблар бу категориягә керәләр.
Чиста эскәмия: 1 ~ 100 класс.
Чиста стенд: Турбулентлы чиста бүлмә киңлегендә анти-статик үтә күренмәле пластик тукымалар белән әйләндереп алынган кечкенә мәйдан, бәйсез HEPA яки ULPA һәм кондиционер кондиционерларын кулланып, югары дәрәҗәдәге чиста мәйданга әйләнү өчен, 10 ~ 1000 дәрәҗәсе, биеклеге 2,5 метр, һәм каплау мәйданы якынча 10m2 яки аннан да азрак. Аның дүрт баганасы бар һәм сыгылмалы куллану өчен хәрәкәтле тәгәрмәчләр белән җиһазландырылган.
5. Airава агымы
Airава агымының мөһимлеге
Чиста бүлмә чисталыгы еш һава агымына тәэсир итә. Башкача әйткәндә, кешеләр тудырган тузанның хәрәкәте һәм таралуы, машина бүлмәләре, төзелеш корылмалары һ.б. һава агымы белән идарә ителә.
Чиста бүлмә һаваны фильтрлау өчен HEPA һәм ULPA куллана, һәм аның тузан җыю дәрәҗәсе 99,97 ~ 99.99995% тәшкил итә, шуңа күрә бу фильтр белән фильтрланган һава бик чиста дип әйтергә мөмкин. Ләкин, кешеләрдән тыш, чиста бүлмәдә машиналар кебек тузан чыганаклары да бар. Бу тудырылган тузан таралгач, чиста урынны саклап булмый, шуңа күрә һава агымын тиз арада ачык тузан чыгару өчен кулланырга кирәк.
Тәэсир итү факторлары
Чиста бүлмәнең һава агымына йогынты ясаучы бик күп факторлар бар, мәсәлән, процесс җиһазлары, персонал, чиста бүлмә җыю материаллары, яктырткычлар һ.б. Шул ук вакытта һава агымының җитештерү җиһазлары өстендәге юнәлешен дә исәпкә алырга кирәк.
Гомуми эш өстәле яки җитештерү җиһазлары өстендәге һава агымын юнәлтү ноктасы чиста бүлмә мәйданы белән бүлек тактасы арасының 2/3 өлешендә куелырга тиеш. Шул рәвешле, оператор эшләгәндә, һава агымы процесс өлкәсенең эчке ягыннан эш өлкәсенә агып, тузанны алып китә ала; диверсия ноктасы процесс өлкәсе алдында конфигурацияләнсә, ул дөрес булмаган һава агымына әйләнәчәк. Бу вакытта күпчелек һава агымы процесс өлкәсенең арткы өлешенә агып китәчәк, һәм оператор эше аркасында тузан җиһаз артына китереләчәк, һәм эш урыны пычраначак, һәм уңыш котылгысыз кимиячәк.
Чиста бүлмәләрдәге эш өстәлләре кебек киртәләр чишелештә агымлы агымнар булачак, һәм алар янындагы чисталык чагыштырмача начар булачак. Эш өстәлендә кире һава тишеге бораулау агымдагы күренешне киметәчәк; монтаж материалларын сайлау урынлымы, җиһазларның урнашуы камилме, шулай ук һава агымы гадәттән тыш күренешкә әйләнә.
6. Чиста бүлмә составы
Чиста бүлмә составы түбәндәге системалардан тора (аларның берсе дә система молекулаларында алыштыргысыз), югыйсә тулы һәм сыйфатлы чиста бүлмә булдыру мөмкин булмаячак:
(1) Түбә системасы: түшәм таягы, I-нур яки U-нур, түшәм челтәре яки түшәм каркасы кертеп.
(2) Кондиционер системасы: һава кабинасы, фильтр системасы, җил тегермәне һ.б.
(3) өлешчә дивар: тәрәзәләр һәм ишекләр кертеп.
(4) Идән: биек идән яки статикка каршы идән.
(5) Яктырту җайланмалары: LED чистарту яссы лампа.
Чиста бүлмәнең төп структурасы, гадәттә, корыч барлардан яки сөяк цементыннан ясалган, ләкин нинди структура булуына карамастан, ул түбәндәге шартларга туры килергә тиеш:
A. Температураның үзгәрүе һәм тибрәнү аркасында ярыклар булмаячак;
Б. Тузан кисәкчәләрен чыгару җиңел түгел, һәм кисәкчәләргә бәйләү кыен;
C. Түбән гигроскопиклык;
D. Чиста бүлмәдә дым шартларын саклап калу өчен, җылылык изоляциясе югары булырга тиеш;
7. Куллану буенча классификацияләү
Индустриаль чиста бүлмә
Anансыз кисәкчәләр белән идарә итү - объект. Ул, нигездә, һава тузан кисәкчәләренең эш объектына пычрануын контрольдә тота, һәм эчке гадәттә уңай басым халәтен саклый. Бу төгәл машина сәнәгате, электроника индустриясе (ярымүткәргечләр, интеграль схемалар һ.б.), аэрокосмик индустрия, югары чиста химия сәнәгате, атом энергиясе индустриясе, оптик һәм магнит продуктлары индустриясе (CD, кино, тасма җитештерү) LCD (сыек кристалл пыяла), компьютер каты диск, компьютер баш җитештерү һәм башка тармаклар өчен яраклы.
Биологик чиста бүлмә
Нигездә тере кисәкчәләрнең (бактерияләр) һәм җансыз кисәкчәләрнең (тузан) эш объектына пычрануын контрольдә тота. Аны бүләргә мөмкин;
A. Гомуми биологик чиста бүлмә: нигездә микробиаль (бактерия) әйберләрнең пычрануын контрольдә тота. Шул ук вакытта, аның эчке материаллары төрле стерилизацияләүче агентларның эрозиясенә каршы тора белергә тиеш, һәм эчке гадәттә уңай басымны гарантияли. Асылда, эчке материаллар сәнәгать чиста бүлмәсенең төрле стерилизацияләү ысулларына каршы тора белергә тиеш. Мисаллар: фармацевтика, хастаханәләр (операция бүлмәләре, стериль палаталар), азык-төлек, косметика, эчемлек продуктлары җитештерү, хайваннар лабораторияләре, физик һәм химик тикшерү лабораторияләре, кан станцияләре һ.б.
B. Биологик куркынычсызлык чиста бүлмәсе: нигездә эш объектының тере кисәкчәләренең тышкы дөньяга һәм кешеләргә пычрануын контрольдә тота. Эчке басым атмосфера белән тискәре булырга тиеш. Мисаллар: бактериология, биология, чиста лабораторияләр, физик инженерия (рекомбинант геннар, вакцина әзерләү)


Пост вакыты: 07-2025 февраль